真空化學(xué)氣相沉積爐為立式和臥式結(jié)構(gòu)，由爐體；石墨加熱器；真空系統(tǒng)；供氣系統(tǒng)；氣體流量控制裝置；可控硅調(diào)壓電源；自動(dòng)控制系統(tǒng)；自動(dòng)記錄裝置；工作平臺(tái)；粉塵過濾系統(tǒng)；水冷系統(tǒng)等組成。

化學(xué)氣相沉積爐系列—電阻加熱方式主要技術(shù)參數(shù)

真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐分為立式和臥式結(jié)構(gòu)，由爐體；液壓升降進(jìn)出料系統(tǒng)；感應(yīng)加熱器；真空系統(tǒng)；供氣系統(tǒng)；氣體控制裝置；尾氣凈化系統(tǒng)；中頻可控硅電源；自動(dòng)控制系統(tǒng)；自動(dòng)記錄裝置；工作平臺(tái)；粉塵過濾系統(tǒng)；水冷系統(tǒng)等組成。

化學(xué)氣相沉積爐系列—感應(yīng)加熱方式主要技術(shù)參數(shù)